超低水氧控制： 水和氧的浓度严格控制在≤0.1ppm，为半导体材料提供极致纯净的加工环境，确保器件的高性能和稳定性
箱体防爆设计： 采用304不锈钢材质
高效气体净化循环系统： 配备铜触媒和分子筛，有效去除水和氧气，循环能力
智能控制系统： 采用PLC触摸屏控制，实现自诊断、断电自启动、压力控制和自适应功能
高标准泄漏率： 箱体泄漏率小于0.001vol%/h，远低于行业标准，确保箱体内的环境不受外界影响
多功能过渡舱： 设有大过渡舱和小过渡舱，方便物品的进出，同时保持箱体内的环境稳定
箱体防爆设计： 采用304不锈钢材质
高效气体净化循环系统： 配备铜触媒和分子筛，有效去除水和氧气，循环能力
智能控制系统： 采用PLC触摸屏控制，实现自诊断、断电自启动、压力控制和自适应功能
高标准泄漏率： 箱体泄漏率小于0.001vol%/h，远低于行业标准，确保箱体内的环境不受外界影响
多功能过渡舱： 设有大过渡舱和小过渡舱，方便物品的进出，同时保持箱体内的环境稳定
